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Linearantriebe für den UHV-Einsatz
Der Linearantrieb überträgt rasche Bewegung eines druckluftgetriebenen Antriebs durch magnetischen Kraftschluss in das Vakuum. Dies ermöglicht z.B. das hochdynamische Öffnen und Schließen von Blenden in diversen Vakuumanlagen. Die neue Technologie ersetzt bislang übliche störanfällige Vakuum- Schiebedurchführungen. Die Nachteile herkömmlicher Antriebe mit dem dort vorherrschenden Druckunterschied zwischen der Atmosphäre und dem Inneren der Vakuumanlage kommen durch den Einsatz eines geschlossenen Systems nicht mehr zum Tragen. Bislang werden die neuen Linearantriebe in Beschichtungsanlagen eingesetzt, bei denen Multilagenschichten in höchster Genauigkeit und hoher Reproduzierbarkeit aufgebracht werden. Die Lineardurchführungen sind seit 9 Jahren störungsfrei im IFW Dresden an folgenden Anlagen im Einsatz:Magnetron-Sputteranlage mit 8 Quellen; Magnetron-Sputteranlage mit 2 Quellen und UHV-Anlage zur Deposition von Nanopartikeln.

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