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Verfahren und Anordnung zur Herstellung von Nanoimprint-Stempeln, sowie mikromechanisch durchstimmbaren Filter/Detektor Arrays.
10 2007 047 598.7, Patent (2007)
H. Hillmer ; M. Bartels

Company
Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik (INA)
Heinrich-Plett-Straße 40
34132 Kassel ()
Homepage: http://www.ina-kassel.de