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EpiTT
in-situ Sensor für die Anwendung in der Produktion von Halbleiter-Bauelementen, wie. z.B. LED; das Messverfahren basiert auf der Verbindung einer pyrometrischen Wafertemperaturmessung mit einer Reflexionsmessung bei zwei prozessangepassten Wellenlängen zur Schichtdickenkontrolle.

Company
LayTec AG
Sessener Strasse 10-13
10709 Berlin ()
Homepage: http://www.laytec.de

Contact
Daniela Sill
Phone: 03039800800
Fax: 030398008080
info@laytec.de