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microRSP M 150
CAPRES microRSP brings sheet resistance probing
to the age of product wafer metrology.
Using compliant micro-fabricated electrode arrays
with cantilever widths down to 500 nanometers,
microRSP is the first non-destructive resistance
metrology that works on the length scale of product
wafer scribe lines.

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Company
CAPRES AS
SCION-DTU, Diplomvej 373
2800 KGS LYNGBY (DENMARK)
Homepage: http://www.capres.com/

Contact
VP Sales and Marketing Olivier DULAC
Phone: +45 45 25 67 00
Fax: +45 45 25 67 10
od@capres.com