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FRT MicroProf 200 MFE Tool
200 mm wafer frontend multisensor metrology tool for TTV and many other surface criteria

- fully automated handling
- open cassettes
- SECS/GEM interface
- SEMI compliance

sensor options: chromatic point sensors, film thickness sensors, white light interferometry, confocal microscopy, atomic force microscopy

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FRT, Fries Research & Technology GmbH
Friedrich-Ebert-Straße
51429 Bergisch Gladbach (Deutschland)
Homepage: http://www.frt-gmbh.com