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FRT MicroProf 200/300 MFE Bridge Tool
Frontend wafer production multisensor bridge metrology tool for roughness, contour, topography, film thickness and more.

- fully automated mini environment (EFEM)
- handles FOUP and/or SMIF
- SECS/GEM interface
- SEMI compliance

sensor options: chromatic point sensors, film thickness sensors, white light interferometry, confocal microscopy, atomic force microscopy

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Company
FRT, Fries Research & Technology GmbH
Friedrich-Ebert-Straße
51429 Bergisch Gladbach (Deutschland)
Homepage: http://www.frt-gmbh.com