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Nano- und Mikrostrukturierung
Lithographische Mikro- und Nanostrukturierung von Schichten und Substraten mittels UV-Photolithographie oder Elektronenstrahl-Lithographie, Lift-off, Nass- und Trockenätzen

Company
Nano+Bio Center, TU Kaiserslautern
Erwin-Schrödinger-Str. 13
67663 Kaiserslautern (Deutschland, Rheinland-Pfalz)
Homepage: http://www.nbc.uni-kl.de