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Charakterisierung dünner Isolatorschichten
Dünne sogenannte high-k Schichten dienen in der Halbleiterindustrie als Isolations- und Sperrschichten. Zur Herstellung von Schichten mit Dicken im Bereich von 3 bis 10 nm werden vermehrt ALD-Prozesse genutzt. Die Prozeßparameter beeinflussen hierbei die Homogenität, Dicke und Geschlossenheit der Schichten.

Als Speziallabor für Oberflächen- und Nanoanalytik bietet Ihnen die Tascon GmbH analytische Unterstützung und langjährige Erfahrung bei der Bearbeitung von Fragestellungen in Forschung & Entwicklung, Qualitätssicherung und Prozessoptimierung.

Typische Fragestellungen aus dem Bereich dünner Schichten sind:
- Bestimmung der mittleren Schichtdicke
- Mittlere chemische Zusammensetzung der Schicht
- Chemische Schichtzusammensetzung der Schicht als Funktion der Tiefe sowie laterale Verteilung
- Geschlossenheit dünner Schichten ("pin-hole" Dichte)
- Nachweis von elementaren und/oder organischen Kontaminationen der Schicht
- ...

Weitere Infos finden Sie unter www.tascon.eu oder direkt im Gespräch mit den Experten der Tascon unter 0251-1622-400 bzw. tascon@tascon@gmbh.de.

Company
tascon GmbH
Mendelstr. 17
48149 Münster ()
Homepage: http://www.tascon.eu

Contact
Dr. Reinhard Kersting
Phone: 0251-625622-320
Fax: 0251-625622-101
tascon@tascon-gmbh.de